麥克項(xiàng)目案例 | 麥克傳感助力半導(dǎo)體等離子水清潔壓力監(jiān)測(cè)
半導(dǎo)體是指在某些情況下能夠?qū)娏鳎谀承l件下,又具有絕緣體效用的物質(zhì),在工業(yè)生產(chǎn)中有著非常重要的作用。在半導(dǎo)體元件的生產(chǎn)過程中,幾乎每道工序都需要用到清洗,這就衍生出等離子半導(dǎo)體洗滌這一產(chǎn)業(yè),該系統(tǒng)生產(chǎn)廠家主要分布于日韓、中國、德國、美國。

等離子水清洗的原理是什么?
離子清洗中的“原料”是工藝氣體,需要實(shí)現(xiàn)氣體壓力的穩(wěn)定和大小可調(diào),所以要在等離子清洗系統(tǒng)的相關(guān)氣路,或氣路的元器件,加裝特制的壓力變送器用以監(jiān)測(cè)并反饋相關(guān)信號(hào)。
在等離子體半導(dǎo)體洗滌系統(tǒng)運(yùn)行過程中,需要高頻電源激發(fā)工藝氣體以產(chǎn)生等離子體,而此過程中會(huì)有很強(qiáng)的電磁場(chǎng),這對(duì)電子元器件的EMC性能提出了非常高的要求。

另外,完成清洗產(chǎn)生的廢氣中,會(huì)伴隨著二次化學(xué)反應(yīng)而產(chǎn)生細(xì)小的顆粒,對(duì)變送器的壓力接口結(jié)構(gòu)也有特殊要求。
還有一些其他特性都會(huì)影響壓力變送器的測(cè)量和穩(wěn)定信號(hào)輸出,常規(guī)傳感器在這個(gè)應(yīng)用中,輸出信號(hào)會(huì)受到干擾而產(chǎn)生大的波動(dòng)。
麥克傳感為等離子水清洗行業(yè)提供什么設(shè)備?
麥克傳感器的定制壓力變送器產(chǎn)品——M20壓力變送器,通過針對(duì)應(yīng)用環(huán)境的機(jī)械設(shè)計(jì)和電路設(shè)計(jì)升級(jí),可以匹配應(yīng)用場(chǎng)景,為客戶提供更準(zhǔn)確、穩(wěn)定的壓力測(cè)量。

量程范圍:0kPa ~ 25kPa 至 0MPa ~ 40MPa;
高性能高性價(jià)比;
適用于通用工業(yè);
全焊接、適配透氣膜;
全數(shù)字溫度補(bǔ)償和校準(zhǔn);
具備多方國際認(rèn)證。
未來,麥克傳感將繼續(xù)為不同領(lǐng)域的客戶提供專業(yè)設(shè)備以及定制化監(jiān)測(cè)解決方案。
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