應(yīng)用挑戰(zhàn)：

1、高等級氣體泄露率；
2、長期穩(wěn)定性及可靠性要求較高；
3、多種腐蝕性氣體介質(zhì)；
4、高潔凈要求；
5、部分設(shè)備安裝空間狹小；

解決方案優(yōu)勢：

1、產(chǎn)品密封性高，氦氣泄漏率: ≤5×10-12Pa·m3/s；
2、潔凈度高，生產(chǎn)地點(diǎn)：百級清潔車間；
3、表面處理：電拋光，符合SEMI F19；表面光潔度：典型值≤0.13μm 最大值≤ 0.18 μ；
4、耐腐性好，接液材質(zhì)不銹鋼316L VAR+VIM符合SEMI F20；
5、長期穩(wěn)定性好，長期穩(wěn)定性±0.25%FS/年，高EMC防護(hù)等級，零點(diǎn)可調(diào)；
6、結(jié)構(gòu)特點(diǎn)，緊湊精小，適用于狹小空間。